沈阳新松机器人自动化股份有限公司成功研制“300mmIC生产线自动物料搬运系统”，打破了国外集成电路装备企业在国内的垄断地位。

日前，沈阳新松机器人自动化股份有限公司承担的“300mmIC生产线自动物料搬运系统研发与应用”项目在沈阳通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”（02专项）实施管理办公室组织的验收。

该项目由新松公司联合中科院沈阳自动化所、上海集成电路研发中心有限公司等实力雄厚的研究院所、企业进行技术攻关，重点攻克在洁净系统设计及优化技术、无接触供电技术、气流分析技术、系统可靠性技术、物流调度分析等共性关键技术，完成了物料控制系统软件、洁净天车、天井式搬运车、洁净立库、洁净有轨制导车辆及外接晶片装载设备等核心设备的开发，并在上海集成电路研发中心有限公司完成了自动物料搬运系统的示范应用，实现了洁净物料传输系统装备的国产化，项目合同期内完成了自动物料搬运生产线5条，实现销售收入1.44亿元。

该系统的研制成功不仅打破了国外集成电路装备企业在国内的垄断地位，降低了晶圆制造企业生产成本，同时推动了我国集成电路装备产业的发展，并带动整个装备制造的产业链的发展，加速我国装备制造业的转型升级。

据悉，该项目资金总额为12,726万元，按照中央：地方：企业＝1:1:1的要求，中央投入4,242万元，地方配套资金4,242万元，新松公司使用自筹资金4,242万元。

下一步，新松公司将在三期产业园，新建超过6000平方米的洁净车间，用于自动化物料搬运系统及其核心设备产品研发、测试和验证，进一步提高洁净产品的产业化能力。