中文名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

标准号：GB/T 8758-2006

标准类型CN

发布日期：2006-7-18

实施日期：2006-11-1

摘要：本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2UM。要求衬底材料的电阻率小于0.02，外延层的电阻率大于0.1 。

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