中文名称：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

英文名称：Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers

标准号：GB/T 30867-2014

标准类型CN

发布日期：2014-7-24

实施日期：2015-2-1

摘要：

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