中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法

英文名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces

标准号：GB/T 19921-2005

标准类型CN

发布日期：2005-9-19

实施日期：2006-4-1

摘要： 本标准规定了应用扫描表面检查系统对硅抛光片表面颗粒进行测试，计数和报告的程序。

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