中文名称：300 mm硅单晶切割片和磨削片

英文名称：300 mm monocrystalline silicon as cut slices and grinded slices

标准号：GB/T 29508-2013

标准类型CN

发布日期：2013-5-9

实施日期：2014-2-1

摘要：本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ωocm～20Ωocm的硅单晶切割片和磨削片（简称硅片）产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直径300mm直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片，产品将进一步加工成抛光片，用于制作集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。

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