中文名称：300 mm硅单晶抛光片

英文名称：300 mm polished monocrystalline silicon wafers

标准号：GB/T 29506-2013

标准类型CN

发布日期：2013-5-9

实施日期：2014-2-1

摘要：本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ωocm～20Ωocm规格的硅单晶抛光片的术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直径300mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片，产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm技术需求的衬底片。

>> 更多信息及订购