中文名称：300 mm硅单晶

英文名称：300 mm monocrystalline silicon

标准号：GB/T 29504-2013

标准类型CN

发布日期：2013-5-9

实施日期：2014-2-1

摘要：本标准规定了直径300mm 、 p型、<100>晶向、电阻率0.5Ωocm～20Ωocm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉法制备的硅单晶，主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300mm硅单晶抛光片。

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