中文名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法

英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

标准号：GB/T 29190-2012

标准类型CN

发布日期：2012-12-31

实施日期：2013-6-1

摘要：本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本办法。

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